WEP CVP21電化學(xué)C-V剖面濃度測量儀 德國WEP公司的CVP21電化學(xué)C-V剖面濃度測試儀可高效、準(zhǔn)確的測量半導(dǎo)體材料（結(jié)構(gòu)，層）中的摻雜濃度分布。選用合適的電解液與材料接觸、腐蝕，從而得到材料的摻雜濃度分布。電容值電壓掃描和腐蝕過程由軟件全自動(dòng)控制。 電化學(xué)ECV剖面濃度測試儀主要用于半導(dǎo)體材料的研究及開發(fā)，其原理是使用電化學(xué)電容-電壓法來測量半導(dǎo)體材料的摻雜濃度分布。電化學(xué)ECV（